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LS(LG)变频器在半导体工厂调整真空用空压机中的应用

———半导体工厂调整真空用空压机

1.概要
在半导体工厂里,调整焊接过程的真空状态与半导体的使用率有密切联系,是非常重要的部分.
2.主要功能
- 利用基本的运行功能和堵转保护功能来控制负载.
- 是水泵的一种,在焊接过程中制造真空时只运行在反向.
3.特殊事项
- 不使用压力传感器的反馈信号作PID运算,而是利用变频器的堵转保护,当输出电流(或负载)上升到一定程度时,限制电机的速度来控制压力.


4.参数设定


5.系统构成

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【文章来自米尔自动化网http://www.mirautomation.com/html/news/2006-11-28/nu0000057136.shtml
 三菱电机

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