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橫河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400

橫河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400产品简介:OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸。

主要技术参数:

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式抽提式等

样气条件

流速200±25ml/min(用于传感器)
温度050℃(无结露)
湿度无结露
压力0300PaG
最大容许压力30kPaG

测量量程

010ppm O20100vol% O2

输出量程

自动

010ppm0100ppm01000ppm01%010%0100%(默认)

固定

设为010ppm0100ppm01000ppm01%010%,或0100%

部分

可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出,路:420mA DC(最大负载电阻550Ω),第路:可选为0105010V DC(负载电阻10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2

错误接点,O2浓度报警接点

指定量程范围输出1

接点输出

多选择器(选配件)

流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

故障

传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止

报警

加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限

串口通信

RS-23238400 bps

标定方法

(1)310ppm1000ppm,空气,(2)2可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100120V AC/220240V AC50/60Hz

功耗

100120V AC200VA 最大,220240V AC400 VA 最大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 375 (D) mm

质量

5kg

管线连接

气体入口Rc1/41/4NPT内螺纹
气体出口Rc1/41/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件

室内,盘装或壁装,非易燃区域

环境温度

040℃,无结露

环境湿度

585%RH

储存温度

-550℃

重复性

±1%F.S.(101001000 ppm1%10%100%)

线性

±2%F.S.
±3%F.S.(0100ppm或更低)

响应时间

90%响应
10秒内(01%或更高)
30秒内(小于01%)

漂移

±2%F.S./

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【文章来自米尔自动化网http://www.mirautomation.com/html/product/2010-09-30/p0002091969.shtml
本文标签: 橫河   Yokogawa   微量氧   氧气分析仪  
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