ATOP六寸厂晶圆追踪系统方案介绍

作者：上尚科技
供稿：台湾上尚科技
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发布时间：2010-01-11

1、目前使用状况：原本采用的晶圆架如下图

A、目前FEB中有很多这样的架子，操作人员操作好一个动作后，会随便找一个架子，存放晶圆盒。等下次要用到的时候，已经忘记自己把晶圆盒放到哪里了，就需要找，就像大海捞针一样。不仅浪费时间而且容易搞错。B、目前使用的晶圆架为6层，而且每层的深度可以放2个Box,每层可以放5排则每层最多可以放10个BoxC、每个晶圆盒上会有一个条码，表示Lot number2、改造需求通过系统能够快速找到晶圆盒3、改造方案建议1、因为货架上晶圆盒摆放是一层放10个，且为两排，并目前摆放是随意性的。要想定位到每个晶圆盒比较困难，而且投入比较高。所以建议定位到每个货架，然后操作人员再通过LotNumber寻找到正确的晶圆盒2、货架改造图

在货架上安装一个数据显示终端及一个条码扫描器3、流程介绍A、放入晶圆盒：操作人员在摆放晶圆盒前，先通过货架上的条码扫描器扫描LotNumber, 数据显示终端上会显示该LotNumber（表示条码已经正确读取）,然后将其放在货架的任一位置。条码数据通过数据显示终端的网络接口传送到后台数据库，系统中存有数据显示终端对应得货架名，从而系统知道该晶圆盒摆放到了那个货架上面。 B、拿出晶圆盒：操作人员要拿出晶圆盒时，可通过FEB的任一PC终端查询该晶圆盒位置，查询到该晶圆盒所在的货架后，去该货架按照LotNumberr寻找到正确的晶圆盒，再在扫描器上扫描一下条码，告诉系统该晶圆盒已经拿走。数据显示终端也会显示该LotNumber,让操作人员再次确认是否拿的正确。4、系统硬件需求及连接图A、数据显示终端------DT4000DT4000介绍：主要特性：直接连接以太网络,100Mbps通讯速率更快更稳定全角模式：16x16点阵 15 字符x4 行英数字及中文（简\繁体）显示半角模式：8x8点阵 30字符x8 行英数字显示FLASH: 可存储13000个16x16 中文字符支持USB设备连接 2个USB接口操作系统：Linux 产品规格CPU：32位CPUSDRAM：32M bytes （可扩展至64M bytes）FLASH：4M bytes （可扩展至16M bytes）网络接口：支持无线网络协议 IEEE802.3 TCP\UDP\SNMP\Telnet\HTTP\ICMP多种协议，标准10\100 Base-T RJ-45接口液晶显示：LED背光设计 240x64 像素液晶显示蜂鸣器：电子蜂鸣器，声音可调节串口：一个RS232口一个可设定RS-485\RS-232接口，D形9针接头接口：标准PS2接口，连接键盘、扫描枪等设备功能键：8个功能键USB接口：2个USB接口，可连接USB接口设备输入输出：2组数字输入（DI）、2组数字输出（DO）指示灯：LED指示灯指示：电源\运行\网络\串口功率：+12VDC @ 1.25A温度：工作温度：0⊥ to 50℃ 储放温度：-20℃ to 70℃.湿度：5~90% 5、设备清单

【文章来自米尔自动化网】http://www.mirautomation.com/html/solution/2007-10/s32844.shtml

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