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海德汉发布新品敞开式绝对直线光栅尺LIC4000

 

敞开式绝对直线光栅尺 LIC 4000

精度高和测量范围大

应用

• 半导体工业的测量和生产设备

• PCB电路板组装机

• 测量机

• 直接驱动

特点

• 大测量范围的绝对位置值

• 高分辨率

• 结构紧凑

• 安装和诊断简单

技术参数

• 有绝对刻轨的METALLUR钢带

• 分辨率 最小至0.001 µm（1 nm）

• 精度等级 达± 5 µm

• 典型位置误差

单信号周期内 ± 0.08 µm

• 测量长度 至27 m

• 运动速度 至8 m/s

• 接口 EnDat 2.2

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【文章来自米尔自动化网】http://www.mirautomation.com/pages/2012-06/np7977.shtml
本文标签： 海德汉   光栅尺   LIC   4000  

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