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雷尼绍新款增量式光栅,实现1nm分辨率


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雷尼绍是测量和光栅技术的全球领先者,其成功的TONiC™增量式光栅产品系列现已推出全新的1 nm和2 nm分辨率选项。直线光栅和圆光栅的全新高分辨率选项,包括标准TONiC读数头和新型Ti20KD (1 nm) 或Ti10KD (2 nm) 接口;接口采用高细分率,可达到更高的分辨率。此外,TONiC采用优异的光度测量的低噪声光学设计与Ti20KD/Ti10KD接口内的高级滤波功能相结合,将抖动(报告位置上的噪声)降至0.51 nm RMS的超低水平。

雷尼绍增量式光栅
雷尼绍增量式光栅

位置稳定性显著增强

由于抖动降低、分辨率提升,TONiC™增量式光栅的位置稳定性和低速速度控制均显著增强。这是对所有TONiC读数头的标配动态信号调节功能优势的有力补充。

因此,1 nm和2 nm TONiC增量式光栅具有20微米栅距光栅的所有优点,例如设定简单、坚固性超强和优异的抗污能力等,而且分辨率和噪声水平可与栅距更小的光栅媲美。

直线光栅的典型抖动图
直线光栅的典型抖动图

提供各种直线光栅和圆光栅

TONiC直线光栅提供广泛的栅尺选项。RGSZ是广泛使用的雷尼绍镀金钢带栅尺中的新款,具有内置IN-TRAC™光学参考零位。RSLM因钢栅尺在长度达到1130 mm时,热膨胀系数为“零”,精度为±1 µm。为了在长轴上实现高性能和显著高于玻璃光栅尺的坚固性,可采用RSLM不锈钢栅尺,它在5 m长度上总体精度达到±4 µm。最高可提供10 m的长度规格。此外,为实现更快捷方便的安装,新型FASTRACK™直线光栅尺系统配备轻薄小巧的RTLC钢带栅尺,精度达±5 µm/m。

同时也提供广泛的圆光栅选项。RESR圆光栅具有直径范围从52 mm到550 mm的标准尺寸和更大尺寸。如需更高性能,可采用超高精度REXM圆光栅,它与双读数头配合使用时,在大于100 mm的圆环直径上具有优于1角秒的总体安装精度。

接口按其细分系数命名:Ti20KD是指20k数字细分电路(正交后),等于1 nm分辨率。

与所有雷尼绍光栅一样,TONiC增量式光栅也由一个全球团队支持,提供真正快捷的全球化服务。此外,该产品符合最高的环境标准,即WEEE和RoHS的要求。

Invar®为Arcelor Mittal公司的注册商标

【文章来自米尔自动化网http://www.mirautomation.com/pages/2013-04/np8659.shtml
本文标签: 雷尼绍   增量式光栅   直线光栅   圆光栅  
 三菱电机

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