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雷尼绍推出全球第一款适合超高真空环境的、真正的绝对式光栅 RESOLUTE UHV

———RESOLUTE UHV为线性和旋转应用提供1 nm分辨率和亚微米级精度


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全球第一款适合超高真空环境的、真正的绝对式光栅 — RESOLUTE UHV，为线性和旋转应用提供1 nm分辨率和亚微米级精度。

 

 

雷尼绍绝对式光栅RESOLUTE UHV
雷尼绍超高真空环境的、真正的绝对式光栅 — RESOLUTE UHV绝对式光栅RESOLUTE UHV

 

 

RESOLUTE UHV是全球第一款真正的绝对式光栅，用洁净的真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低。RESOLUTE UHV适合于高性能要求且真空度须达到10-10Torr的半导体和科研应用场合。

该光栅的精度更高，运动控制更平稳，伺服环刚性更强，速度更是高达100 m/s! 机器测量效率和安全性可实现巨大飞跃。

RESOLUTE UHV使用多种串行协议，比如BiSS-C®、FANUC、Mitsubishi和Panasonic，因此可与行业标准控制器兼容。

RESOLUTE UHV符合RoHS标准。

【文章来自米尔自动化网】http://www.mirautomation.com/pages/2013-05/np8711.shtml
本文标签： 雷尼绍   超高真空环境   绝对式光栅   RESOLUTE  

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