图 3:单一 AXIe 机箱满载 12 组传输器模块
图 4:系统频率图
高带宽图形传输
除了跨 10 个机箱下严格的通道间歪斜的要求之外,系统还要求能够实时传输大量数据到光纤输出通道。各图形传输模块配备四组高性能的 FPGA;一颗负责PCIe驱动接口,另外三颗各负责 24 个光纤通道的驱动接口,即单一数据传输模块可提供 72 个光纤输出通道。
集成电路图案数据先自 RAID 磁盘阵列读出后加载主板刀锋服务器的内存,再经由PCIe 总线做直接内存存取(DMA, direct memory access)传输到个别的数据传输模块。数据传输模块上的 PCIe FPGA 接收 DMA 数据并存入模块上的闪存,然后再传输到各图形传输 FPGA 对应的 DDR3 内存储存。图形传输 FPGA 内建有客户自定的解压缩算法,解压缩后的数据会通过光学发射器做同步数据输出。示意图请参见图 5:
图 5:数据传输方块图
其中DDR3 内存切割为两个区块,以便实现「乒乓(ping-pong)」技术,也就是可让大量数据同时间进出内存以优化读/写带宽。各光纤输出通道的图形档案大小可达 300MB,换句话说,一个插满12张数据传输模块的机箱总共会需约260GB的档案大小。
先前提到符合经济效益的产出标准为每6分钟要完成一片晶圆,所以整体上会需要至少725MB/秒的连续数据带宽,通过这样的运作模式,另一组完全不同的晶圆电路图文件,也可在前片晶圆制作完成前可完成下载,以实现少量多样的高性能产出。
总结
凌华科技基于FPGA架构的AXIe 图形传输系统,对于无光罩 E-Beam 微影制程应用,提供高效率集成电路图形数据处理、传输,以及数据同步的解决方案,整体系统跨通道间时钟偏移低于 2ns,且应用AXIe的几项特色,包含可提供大功率电源、有效散热及高可靠度及扩充性,可符合实际半导体生产制程的需求。
*AdvancedTCA、Advanced Telecom Computing Architecture以及 PICMG 是 PCI Industrial Manufacturers Group 的注册商标。
关于凌华
凌华科技致力于量测、自动化及计算机通讯科技之改进及创新,提供解决方案给全球网络电信、智能交通及电子制造客户。凭着对专业技术的执着与实践客户承诺的自我要求,领先业界推出多项创新性产品,获ISO-9001、ISO-14001、ISO-13485、台湾精品、TL9000等多项认证。凌华科技为Intel®智能系统联盟(Intel® Intelligent Systems Alliance)会员,PICMG协会和PC/104协会可参与制定规格的会员,PXI Systems Alliance协会董事会及最高等级会员,以及AXIe联盟战略会员。目前在美国、新加坡、中国、日本、德国设有子公司,在印度、韩国、法国设有办事处,为当地客户提供快捷服务和实时支持。
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